ボールねじ駆動×高分解能中空モータ
―機械誤差を最小にしつつ、ナノオーダーの高精度位置決めを実現

高分解能かつ中空大口径のμDDモータを駆動源に使用することで、高精度な直動ステージを作製可能です。
　　　　　　　　　
提供：東京工業高等専門学校　精密工学研究室

・構造のシンプル化による機械誤差の最小限化
　　中空にボールねじを貫通させ、同一直線状にコンパクトかつシンプルにモータを組み込み可能。
　　外径φ30のシリーズでもφ6の中空が空いており、φ4のボールねじを使用可能。
　　ギアレス構造のため、摩耗部品がない分メンテナンス性も向上。
・高分解能エンコーダによる高精度位置決め
　　高分解能エンコーダを搭載しているため、微細な位置決めにも最適。
　  φ21の小型モータでも18bitの分解能を持っており、機構を小型にしつつも高精度なアライメントが可能。
・小型ながら大きな推力獲得
　　高トルクであるため、小型のリニア機構でも高い推力を得られます。
　　

採用例：ダイボンダやICチップ等の先端Zθユニット　アライナ等ボールねじを使用したステージetc…