導入事例






半導体装置・FA機器

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多軸機構・分割撮像検査装置「JIGEN」

タクトタイム短縮を狙い装置を高速間欠動作させると、装置振動が光学系に影響し高精度な画像検査を行うことが困難になってきます。μDDモータを使用することで、残留振動を抑え高速位置決めが可能です。
提供:ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社様

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半導体設備特化型モータガイド

半導体製造装置向けの採用例をご覧いただけます。
ボンダ―やテストハンドラ等の後工程を中心にMTLの
採用実績を記載しております。
小型DDモータによる高精度化とタクトタイムの両立など、装置の付加価値を上げることが可能です。

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センサレスせん断力測定機構

モータの電流値とエンコーダの位置情報をダイレクトにフィードバックすることで、力学センサ無しでトルク計測・制御が可能です。本研究では介護の自動化を目標に進められています。

提供: 東京電機大学 五十嵐研究室

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トラッキングジンバル

高速で移動する被写体を追従するカメラ雲台です。ギヤレス構造にすることで、ギヤ分の軽量化でき、加速性が高まります。静音であるため、録音時の影響も小さくなります。テレワーク用のカメラ台が、あなたを高速で追尾する時代が来るかもしれません。
提供:千葉大学 並木研究室

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μDDモータによる重り吊り上げ

シンプルにダイレクトに重りを上下させています。
年中無休約3年間、高トルク・高耐荷重をアピールし続けております。先にアクリルの土台にひびが入ってきました。
MTL社内デモ機です。

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ウエハ反転機構

小型中空高トルクの特徴活かし、限られたスペースのでの高速化が可能です。

 

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360度外観システム

円筒状のワークを360度回転、高精度エンコーダーと高解像度ラインカメラでワーク側面を最小1秒で撮像可能。
DDモータによる高精密回転が寄与しております。


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小型ディスペンサ

高精度・安定吐出のメリットはそのままに、自動化の小型化に最適。


 

 ロボット

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簡単スカラ:ダイレクトティーチング

人間と共存するロボットには「本質的安全」と「直感的で簡単」であることが求められます。μDDモータにて、誰でも簡単に協働作業ができる小型ロボットが開発可能です。
MTL社内デモ機です。

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簡単スカラ:繰り返し精度±1μm

簡単に開発できるロボットでも、μDDモータを使用することにより、繰り返し精度±1μmの高精度位置決めスカラが製作可能です。

MTL社内デモ機です。

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MagLinkage(マグリンケージ)

人間のように、衝撃吸収をしながら高速把持を可能にする新しいアクチュエータです。固い駆動源を、柔らかく制御する従来のロボとは真逆のアプローチをすることにより、今まで実現不可能であった動作が可能となりました。
ユーザ:東京大学石川グループ研究室/
    大阪大学原田研究室

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静かなコミュニケーションロボット

「ウィーーンというモータ音がうるさい。」
そんなロボット特有の音が一切しません。睡眠の妨げにもならないので、高齢者のお薬リマインダーや睡眠サポートなども可能です。将来ロボットに必要な要素「静音性」がμDDモータで解決します。

ユーザ:首都大学東京 久保田研究室

 マスタースレーブ

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3軸ロボットアームのマスタースレーブ

μDDモータとMCドライバのみで、反力フィードバック付きマスタースレーブアームを作りました。


MTL社内デモ機です。

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リアルハプティクス義手

義手と足のペダル間で、双方向に力伝達=力触覚移植する義手です。筋電義手でのONOFF動作と異なり、絶妙な力加減が調整可能です。

ユーザ:慶應義塾大学 野崎研究室

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7軸パラレルリンクマスタースレーブ

μDDモータでパラレルリンクロボットを作りました。
シンプル構成で摩擦が少なく、軽い操作感が特徴です。


MTL社内デモ機です。

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細胞培養操作向け遠隔操作システム

ピペットの微細な操作を、触覚フィードバック付きで無線遠隔操作が可能となりました。協働ロボット同士もマスタースレーブ動作をしています。

ユーザ:大成建設株式会社様

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身体感覚を伝送する双腕型ロボット
「GP-Arm」

力触覚や視覚情報を、遠くの自分(ロボット)とリアルタイムで共有します。将来は自分がロボットとなり、位置情報のみならず、力加減や視覚情報をダイレクトティーチングできるようになります。

ユーザ:NEDO/慶應義塾大学ハプティクス研究センター
      慶應義塾大学野崎研究室

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Avatar Fishing -遠隔釣り体験-

東京都⇔大分県にてマスタースレーブ。
釣り糸の引張感、リールの巻取り抵抗がリアルタイムで感じることができ、大分名物鯛釣りを東京で体験できます。
釣った鯛は、航空便で翌日には届くサービスを検討中。


ユーザ:株式会社Re-al様

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触覚を伝送する6軸ユニット
「可触化デバイス」

可触化を再現するユニットとなります。
遠隔操作に触覚を付与した制御を行い、微細からダイナミックなフィードバックを得られます。
直感的に触ることが可能となり、遠隔操作やコミュニケーションの更なる可能性を拡げます。

MTL社内デモ機



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