ウエハ反転機構

ウエハの反転機構



高トルク

イナーシャ比100倍でも
0.5secにて180°反転可能です。



超小型

より軽量に
限られたスペースに設置可能です。



中空軸

φ20空いており、
エンドエフェクタからのエアチューブやケーブルを通すことが可能です。

採用モータ詳細

  型名 製品名 備考
1

MDH-6018-500KE

小型中空ダイレクトドライブモータ

外径φ60mm、中空径φ20mm

分解能2,000,000C/R
ピークトルク2.7Nm

従来のシステムのまま導入可能 -コラボレーションアンプ-


三菱電機・パナソニックアンプへの接続が可能です。


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小型と中空を両立したモータ

MDS/MDH(12)-40シリーズ

MDH(12)-40シリーズ

業界最大クラスの中空率30%。

φ40外径に対してφ12の中空内径のμDDモータが新登場。
トルクは従来と変わらず1Nm。

中空軸内にタップを切り、ロータリージョイントを設置して、エアチューブやケーブルを貫通可能。
エンドエフェクタや、アライメント軸周りの小型化に最適。

MDH-60シリーズ

MDH-60シリーズ

μDDモータにφ60が新登場。

MDH40シリーズとMDH70シリーズの良いとこ取りをすることに成功した小型大口径中空軸モータ。

大口径中空軸を活かしたエンドエフェクタ、高トルクを活かしたインデックス・ロボット関節など、幅広い採用範囲が特徴。


DDモータを使用することにより、
限られたスペースのでの高速化が可能です。

 

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